企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 江苏 苏州 |
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公司地址: | 苏州市吴中区国家环保产业园 |
发布时间:2022-06-04 14:12:00 作者:振鑫焱光伏科技
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微电子芯片进入医学领域,使古老的医学青春焕发,为人类的保健事业不断创造辉煌。微电子芯片的“魔力”还在于,它可以使盲人复明,聋人复聪,哑人说话和假肢能动,使全世界数以千万计的残疾者得到光明和希望。
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半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离
子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、***残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括
重金属金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导
致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
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硅片化学清洗是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗(硫酸、***、王水、各种混合酸等)和等离子体法等。其中***体系清
洗方法效果好,环境污染小。一般方法是将硅片先用成分比为H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的强氧化性,将有机物分解而除去;,
由于H2O2的氧化作用和盐酸的溶解,以及氯离子的络合性,许多金属生成溶于水的络离子,从而达到清洗的目的。
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硅矿物冶炼金属硅的过程是无渣过程,化学硅冶炼对硅石的选用较严格,不仅杂质含量要少,还要求有高的机械强度、足够的热稳定性,适宜的粒度组成。化
学用硅熔炼采用硅石。天然形态的氧化硅或者是以独立的石英矿物存在,或者是以几乎全是由氧化硅积成的岩石—硅石,或硅石形态的砂岩存在。
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